现有的电子洁净室净化工程采用的空气净化装置主要由回风管道、送风管道、空调和空气净化器构成，回风管道的出风端与空气净化器的入风端连接，空气净化器的出风端与空调的入风端连接，空调的出风端为由于回风管道只通过一个回风口进行回风，所以洁净室中各个角落的空气净化不均匀，电子洁净室净化工程中整体的空气清洁度达不到万级。

　　目前，万级电子洁净室净化工程的施工过程采用了新的空气净化装置。 回风管道设有多个回风分支管，各回风分支管的进气端设有进气壳体，使电子洁净室净化工程内各个角落的空气净化均匀，有效地解决了现有技术的不足。 使整个电子洁净室的空气清洁度达到万级。