洁净室属于广东净化工程范围,通过设备和设施对特定空间进行。 是对温度、湿度、风量、差压、洁净度、沉降菌、浮游菌等项目进行调节控制,使之达到一定标准的工程。 如果楼主的洁净室有前述要求,则为广东净化工程。
广东净化工程是在规定的空间范围内,排除空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、压力、气流速度和气流分布、噪声振动和照明、静电控制在一定需求范围内的工程学科。 净化厂特别设计的房间,无论外界空气条件如何变化,室内都有保持当初设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。 比用湍流表现湍流洁净室更可靠、更全面。
广东净化工程具体工艺对温度的要求在后面列举,但广东净化工程工序作为整体原则,由于加工精度越来越细,对温度波动范围的要求越来越小。
例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数的差越来越小。 直径100 um的硅片,温度上升1度后,会引起0.24um的线膨胀。 因此,需要0.1度的恒温。 另外,湿度值一般要求较低。 因为人出汗后,产品有污染。 净化工序,特别是怕钠的半导体工厂,该工厂温度不得超过25度。
洁净室属于广东净化工程范围,通过设备和设施对特定空间进行。 是对温度、湿度、风量、差压、洁净度、沉降菌、浮游菌等项目进行调节控制,使之达到一定标准的工程。 如果楼主的洁净室有前述要求,则为广东净化工程。
广东净化工程是在规定的空间范围内,排除空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、压力、气流速度和气流分布、噪声振动和照明、静电控制在一定需求范围内的工程学科。 净化厂特别设计的房间,无论外界空气条件如何变化,室内都有保持当初设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能。 比用湍流表现湍流洁净室更可靠、更全面。
广东净化工程具体工艺对温度的要求在后面列举,但广东净化工程工序作为整体原则,由于加工精度越来越细,对温度波动范围的要求越来越小。
例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数的差越来越小。 直径100 um的硅片,温度上升1度后,会引起0.24um的线膨胀。 因此,需要0.1度的恒温。 另外,湿度值一般要求较低。 因为人出汗后,产品有污染。 净化工序,特别是怕钠的半导体工厂,该工厂温度不得超过25度。