半导体组件空间单位都是以微米计算,因此微尘颗粒沾附在制作半导体组件的晶圆上,便有可能影响到其上精密导线布局的样式,造成短路或断路的严重后果。所有半导体制程设备都必须安置在隔绝粉尘进入的密闭空间中,这就是半导体洁净车间的来由。下面广东净化工程制造商给我们简单介绍半导体洁净车间技术。如下:
1.半导体洁净车间内部要确保粉尘只出不进,因此洁净车间室内要保持大于大气压的环境。这就需要用大型鼓风机将经净化设备的空气源源不绝地打入洁净车间中。
2.为保持恒温与恒湿,大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。
3.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。
4.半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业之使用量极为惊人!
盛大净化在微电子、光学光电、印刷包装、食品日化、医疗卫生、生物制药、精密仪器行业承建了近千个不同级别的经典案例,获得广大客户高度的赞誉。是集产品开发、生产、销售、安装、维护为一体的高新企业。
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2.为保持恒温与恒湿,大型空调设备须搭配前述之鼓风加压系统使用。鼓风机加压多久,空调就得开多久。
3.所有人或事物进出洁净车间,人必须穿配套防尘服,人或事物都要经过风淋室吹淋以将表面粉尘先行除掉。
4.半导体洁净车间内水的使用只限用去离子水。一则防止水中粉粒污染晶圆,二则防止水中重金属离子污染金氧半晶体管结构之带电载子信道,影响半导体组件的工作特性。去离子水是最佳的溶剂与清洁剂,在半导体工业之使用量极为惊人!
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