在无尘室工程中，需要用到多种洁净设备以确保室内环境的洁净度和稳定性。这些设备主要涵盖空气过滤、空气调节、空气监测与控制、气流调节与分布等多个方面。以下是一些主要的洁净设备：

1、空气过滤设备

高效过滤器（HEPA）：主要用于过滤空气中的微粒，有效去除直径大于0.3微米的颗粒物，其过滤效率通常达到99.97%以上。

ULPA过滤器：用于对更小尺寸的微粒进行过滤，其过滤效率高达99.999%以上，适用于对洁净度要求极高的场所。

滤尘器：用于预过滤，可去除空气中的大颗粒物和粉尘，保护后续过滤器的正常工作。

活性炭过滤器：用于去除空气中的异味、有机气体和化学污染物。

2、空调通风设备

制冷机组：通过制冷剂循环，控制车间内的温度，确保在设定的范围内恒温。

加湿设备：用于调节空气中的湿度，保持在设定的相对湿度范围内，通常在30%~70%之间。

风机盘管单元：用于将处理后的空气送入车间，并根据需要进行空气循环和调节。

3、空气监测与控制设备

空气质量监测仪：用于实时监测空气中的颗粒物、有害气体、湿度等参数，保证车间环境达到要求。

温湿度传感器：测量车间内的温度和湿度，为空调系统提供反馈信号，实现精确的温湿度控制。

压力差监测仪：用于监测车间内外的压力差异，确保车间内的正压状态，防止外部空气污染进入车间。

4、洁净室专用设备

风淋室：位于无尘车间入口处，通过高速气流将人员、物品表面的微尘和杂质吹除，保证进入车间前的洁净度。

层流罩：如百级层流罩，将操作者与产品屏蔽隔离，通过高效过滤器后形成均匀流动层，保证工作区域内的高洁净度。

FFU（风机过滤机组）：一种自带动力的送风过滤装置，从顶部吸入空气，经HEPA过滤后均匀送出洁净空气。

洁净工作台：为局部操作环境提供局部无尘洁净无菌工作环境，满足实验室使用要求。

洁净棚：可以提供局部高洁净度环境的空气净化设备，是一种简易洁净室。

5、其他辅助设备

风量调节阀：用于调节支管的风量，也可用于新风与回风的混合调节。

防雨百叶：用于通风工程，防雨通风。

送回风百叶：用于通风系统向房间末端的送风或回风。

此外，无尘室工程还需要考虑装饰结构类材料、地面材料以及电器部分等。装饰结构类材料包括围体结构彩钢板及辅助材料，地面材料则包括PVC地板、环氧树脂地坪和高架地板等。电器部分则包括照明电路、空调电路和净化设备电路等。

综上所述，无尘室工程中需要用到多种洁净设备，这些设备协同工作，确保车间内的空气洁净度达到要求，为生产制造提供可靠的环境保障。